Сведения о ходе выполнения прикладных научных исследований в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса на 2014-2020 годы» по соглашению Электронного бюджета 075-15-2019-1697, Внутренний номер соглашения 05.604.21.0230 от 20.11.2019 «Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники».

Сведения о ходе выполнения прикладных научных исследований в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса на 2014-2020 годы» по соглашению Электронного бюджета 075-15-2019-1697, Внутренний номер соглашения 05.604.21.0230 от 20.11.2019 «Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники».

В ходе выполнения этапа №2 ПНИ были получены следующие результаты:

Результаты работ Получателя за счет средств гранта:

· Заключительный отчет о ПНИ, содержащий подробное описание всех полученных результатов согласно плану-графику выполнения работ по проекту.

· Макеты тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

· Программа и методика испытаний макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

· Акт и протоколы испытаний макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

· Лабораторный технологический регламент изготовления макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

· Протоколы экспериментальных исследований.

· Протоколы испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

Результаты работ, выполненных за счет средств из внебюджетных источников, в том числе:

Получателя, выполненных за счет собственных средств:

· Разделы заключительного отчета о ПНИ.

· Технологический маршрут формирования высокоаспектной 3D- структуры на поверхности кремния методом плазмохимического травления.

· Программа и методики испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

Индустриального партнера, выполненных за счет собственных средств:

· Разделы заключительного отчета о ПНИ.

· Макеты тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

· Лабораторный технологический регламент изготовления макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

· Проект технического задания на ОТР по созданию промышленной технологии изготовления тонкопленочного интегрального ЛИА.

Описание полученных результатов:

Описание результатов работ Получателя за счет средств гранта:

o Изготовлены макеты тонкопленочного ТТЛИА в планарном исполнении следующих электрохимических систем:

- LixV2O5/LiPON/(Si-O-Al);

- LiFePO4/LiPON/(Si-O-Al);

- Li(1+а)NibMncCoO(2-δ)/LiPON/(Si-O-Al).

o Разработана программа и методика испытаний макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

o Проведены испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

o Разработан лабораторный технологический регламент изготовления макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении.

o Проведены испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

o Выполнены экспериментальные исследования:

- морфологии и структуры функциональных слоев тонкопленочных ТТЛИА методами электронной сканирующей микроскопии;

- элементного состава функциональных слоев тонкопленочных ТТЛИА методами энергодисперсионного анализа, рамановской спектроскопии и оже-спектроскопии;

- структуры и фазового состава функциональных слоев ТТЛИА методом рентгеноструктурного и рентгенофазового анализа;

- пористости функциональных слоев тонкопленочных ТТЛИА методом газо-адсорбционной порозиметрии.

Описание результатов работ, выполненных за счет средств из внебюджетных источников, в том числе:

Работ Получателя, выполненных за счет собственных средств:

o Разработана лабораторная технология формирования высокоаспектной 3D- структуры на поверхности кремния методом плазмохимического травления (bosch-процесса).

o Разработана программа и методика испытаний макетов ТТЛИА в 3D исполнении.

o Проведено обобщение полученных результатов ПНИ, оценка эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем.

o Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов ПНИ.

Работ Индустриального партнера, выполненных за счет собственных средств:

o Отработана лабораторная технология нанесения диэлектрического слоя на поверхность 3D-структуры.

o Отработана лабораторная технология нанесения тонкопленочных электродов состава Si-O-Al и LixV2O5 на поверхность 3D структуры с нанесенным на нее диэлектриком.

o Отработана лабораторная технология нанесения твёрдого электролита LiPON на 3D поверхность с нанесенными на нее пленками состава Si-O-Al и LixV2O5.

o Отработана лабораторная технология нанесения тонких пленок состава Si-O-Al и LixV2O5 на 3D поверхность, покрытую пленкой твёрдого электролита LiPON.

o Отработана лабораторная технология нанесения медного токоотвода на 3D поверхность, покрытую тонкими пленками состава: Si-O-Al и LixV2O5.

o Отработана лабораторная технология нанесения диэлектрического слоя на медный токоотвод, нанесенный на 3D поверхность.

o Изготовлены макеты тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении электрохимической системы LixV2O5/LiPON/ (Si-O-Al).

o Разработан лабораторный технологический регламент изготовления макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.

o Разработан проект технического задания на проведение ОТР по созданию промышленной технологии изготовления тонкопленочного интегрального литий-ионного аккумулятора.